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  光電輪廓儀-光電輪廓儀 WGL
 
測量儀器 >> 測量儀器 >> 光電輪廓儀
本儀器采用非接觸、光學相移干涉測量方法,測量時不損傷工作表面,能快速測得各種工作表面微觀形貌的立體圖形,并分析計算出測量結果。適用于測量各種量塊、光學零件表面的粗糙度;標尺、度盤的刻線深度;光柵槽形結構;鍍層厚度和鍍層邊界處的結構形貌;磁(光)盤、磁頭表面結構測量;硅片表面粗糙度及圖形結構測量等。儀器測量精度高,重復性好,具有非接觸和三維測量的特點,并采用計算機控制和快速分析、計算測量結果。本儀器適用于各級測量、計算研究單位,工礦企業(yè)計量室,精密加工車間,也適用于高等院校和科學研究單位。

技術參數
表面微觀不平深度測量范圍:1000nm~1nm
測量的重復性:δRa≤0.5nm
測量精度:8nm
物鏡倍率:40×
數值孔徑:0.65
儀器視場:目視φ0.25mm;攝像0.13×0.13mm
儀器放大倍數:目視500×;攝像(計算機屏幕觀察):2500×
接收器測量陣列:1000×1000
像數尺寸:5.2×5.2μm

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 WGL
產品介紹本儀器采用非接觸、光學相移干涉測量方法,測量時不損傷工作表面,能快速測得各種工作表面微觀形貌的立體圖形,并分析計算出測量結果。適用于測量各種量塊、光學零件表面的粗糙度;標尺、度盤的刻線深度;光柵槽形結構;鍍層厚度和鍍層邊界處的結構形貌;磁(光)盤、磁頭表面結構測量;硅片表面粗糙度及圖形結構測量等。儀器測量精度高,重復性好,具有非接觸和三維測量的特點,并采用計算機控制和快速分析、計算測量結果。本儀器適用于各級測量、計算研究單位,工礦企業(yè)計量室,精密加工車間,也適用于高等院校和科學研究單位。

技術參數
表面微觀不平深度測量范圍:1000nm~1nm
測量的重復性:δRa≤0.5nm
測量精度:8nm
物鏡倍率:40×
數值孔徑:0.65
儀器視場:目視φ0.25mm;攝像0.13×0.13mm
儀器放大倍數:目視500×;攝像(計算機屏幕觀察):2500×
接收器測量陣列:1000×1000
像數尺寸:5.2×5.2μm
產地China
 
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